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访谈｜ASML全球高级副总裁沈波：开放合作半导体行业才能发展******

　　(第五届进博会)访谈｜ASML全球高级副总裁沈波：开放合作半导体行业才能发展

　　中新社上海11月6日电 题：访谈｜ASML全球高级副总裁沈波：开放合作半导体行业才能发展

　　中新社记者 李佳佳

　　元宇宙体验、光刻机“开箱”视频和H5虚拟课堂，备受外界关注的全球半导体行业供应商ASML在第五届中国国际进口博览会上，首次通过“元宇宙”平台，带来沉浸式的光刻体验，彰显前沿科技。

　　自1988年交付首台步进式光刻机以来，ASML进入中国市场已有三十余年，见证、亲历和支持了中国半导体产业的发展。

　　“今年是ASML第四次参展进博会，我们希望借助进博会的平台不断地展现开放共赢、合作发展的理念。”ASML全球高级副总裁、中国区总裁沈波表示：“ASML一直秉持开放与专注，以‘开放式创新’和对光刻技术的专注，持续支持半导体行业的发展。在进博会，我们可以与全行业甚至跨行业的企业和合作伙伴加深交流，共商合作前景。”

　　首次在进博会亮相的“ASML元宇宙”之旅给此间观展者带去了身临其境的独特体验。在ASML元宇宙空间里，观展者可以“亲身”进入无尘室，近距离接触神秘的光刻机，更可以结合影视级效果的3D裸眼视频，了解光刻机的内部基本原理——光源经过照明模组投向掩模版，再穿过掩模版上的电路图案，通过投影物镜将影像聚焦到晶圆上。“元宇宙”中还有生动的全方位光刻解决方案动画和丰富多样的科普视频，令观展者沉浸式了解更多有关ASML的故事。

　　“每年我们都会思考以什么样的形式参加进博会”，沈波说，去年，进博会的集成电路专区设立，凸显了外界对产业的关注和重视。希望未来在设立专区的基础上，能够增加宣传和引导，比如举办一些专题或者小论坛，以加深外界对行业的了解。

　　其实，除了光刻机，ASML在芯片制造的成像环节也会提供全方位的光刻解决方案，从光刻机设备本身到计算光刻软件，再到芯片生产过程的量测、缺陷的检查等，ASML均有涉猎。“我们更想跟大家讲讲怎么帮助客户在芯片生产的过程中，在我们的环节上做出足够大的工艺窗口，让芯片生产的质量、精度能够控制得更好，或者让客户的技术进步更顺畅地向前。这是我们今年进博会主要的出发点。”

　　当前，中国已是全世界最大的成熟制程市场，这俨然成为行业的共识。“中国在整个半导体产业链中扮演非常重要的角色，这是所谓‘不确定性中的确定性’。在这种确定的情况下，中国该怎么发展成熟制程，怎么把成熟制程做好，怎么在全球的半导体产业链里把自己重要的角色扮演好，从这个角度看，中国市场的潜力是很大的，中国有全世界最大的终端市场，最活跃的应用市场，终端市场、应用市场反过来可以推动上游设计、制造方面的发展创新。”

　　说起行业未来的发展，沈波坦言，半导体行业自身有一定的周期，有起有伏不是新鲜事。但是从半导体行业过去多年的发展和对未来的预期来看，整体向上的趋势是在的，“只要大趋势在，就会要求有更多的计算、更多的存储、更多新的应用支持，就会带动半导体行业的需求量向上”。(完)

清华等四所高校学生自研卫星载荷成功发射******

　　中新网北京1月18日电 (记者 高凯)记者从清华大学获悉，1月15日11时14分清华大学发起的“天格计划”合作组4所高校的4颗卫星载荷成功发射。

　　其中，清华大学的GRID-05B卫星载荷搭载于长光卫星MF02A07星，由长征二号丁运载火箭从太原卫星发射中心发射升空，成功进入预定轨道，卫星状态良好，发射获得圆满成功。

　　据介绍，此次同时发射的共有“天格计划”合作组4所高校的4颗天格卫星载荷，各校天格学生团队作为主力，以清华大学在“天格计划”合作组中开放共享的技术资料为基础，完成了卫星载荷的研制与标定工作，包括：南京大学和四川大学共同研制的GRID-06B(搭载长光卫星MF02A04星)、GRID-08B(搭载天仪研究院TY-28号星)、北京师范大学的GRID-07(搭载天仪研究院TY-28号星)。

　　预期此次成功发射的这4颗载荷，将与此前已发射在轨的多颗天格载荷开展联合观测，对伽马射线暴、太阳活动和脉冲星等进行持续在轨观测与分析。

　　此前，“天格计划”在2021年12月发布了首批科学成果：GRID-02卫星载荷观测到首个宇宙伽马射线暴事例GRB210121A，相关科学成果发表在期刊《天体物理学报》(The Astrophysical Journal)，由南京大学天格团队与清华天格团队的学生合作完成了天格观测数据的处理和物理分析。这是“天格计划”首个正式发表的伽马暴科学观测结果，也是国际上同类纳卫星伽马暴探测项目中首例取得科学发现和论文发表的伽马暴事例。

　　随着2022年GRID-03B、GRID-04的成功发射，“天格计划”合作组已经进入多星稳定科学观测的阶段，未来2-3年，将持续发射卫星载荷构建星座观测网络，并继续与GECAM引力波伽马暴科学卫星等开展深度合作和协同数据分析，期望在地面引力波探测器升级再次开机后，获得更多有价值的观测结果。

　　“天格计划”由清华2016年发起，是一个以本科生学生团队为主体的空间科学项目，也是一个理工学科交叉的基础科学人才培养项目，以寻找与引力波、快速射电暴成协的伽马暴及其他高能天体物理瞬变源为主要科学目标。

　　目前“天格计划”合作组已有清华以及南京大学、四川大学、北京师范大学、中科院高能所、中科院空间科学中心等20余所高校和研究所共同参与合作，首批科学数据已汇交国家空间科学数据中心对科学界开放共享。(完)

　　（文图：赵筱尘 巫邓炎）